据路透社在12月17日的消息称,国产EUV原型机已经在深圳的某实验室中完成制造,目前已经能成功产生极紫外光,但原型机目前正处于测试阶段,尚未用于芯片制造。
据中科院大学副院长、教授刘云表示,我国研发投入总量世界第二,但研发强度与创新型强国之间有较大差距,特别是基础研究投入比例更低。
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