据路透社在12月17日的消息称,国产EUV原型机已经在深圳的某实验室中完成制造,目前已经能成功产生极紫外光,但原型机目前正处于测试阶段,尚未用于芯片制造。
台积电方面已经宣布,已经开始了7nm+ EUV工艺的大规模量产,新的EUV工艺将为6纳米工艺铺平道路,6nm工艺预计将在2020年第一季度开始试生产,大规模出货计划在明年年底进行。
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