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国产EUV原型机完成制造预计2028年产出芯片

据路透社在12月17日的消息称，国产EUV原型机已经在深圳的某实验室中完成制造，目前已经能成功产生极紫外光，但原型机目前正处于测试阶段，尚未用于芯片制造。

标签： EUV| 光刻机| 原型机| 几紫外光| 2025-12-18
刘云列举35项技术被制约包括光刻机、芯片等

据中科院大学副院长、教授刘云表示，我国研发投入总量世界第二，但研发强度与创新型强国之间有较大差距，特别是基础研究投入比例更低。

标签：光刻机| 芯片| 2020-11-30

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